Infrastruktur & Tools

Erfahren Sie mehr über unsere Infrastruktur zur Herstellung von mikroelektronischen und mikromechanischen Komponenten und Systemen.

Infrastruktur & Tools im Bereich CMOS- und MEMS-Technologien

Das Fraunhofer IMS verfügt über eine spezielle Infrastruktur bestehend aus einer 0,35 µm CMOS-Linie und einem Mikrosystemtechnik Lab&Fab. In diesen beiden Reinräumen können einzelne CMOS- und MST-Teilschritte bis hin zu vollständigen kundenspezifischen Technologien entwickelt werden.

Infrastruktur CMOS Fab

Für die Realisierung von kundenspezifischen Technologien und Mixed-Signal ICs steht am Fraunhofer IMS ein vollständig, professionell betriebener 200 mm CMOS-Reinraum mit verschiedensten robusten CMOS-Technologien bis zu einer minimalen Strukturgröße von 0,35 µm zur Verfügung z. B. Hochspannung SOI-CMOS, 0,35  µm Hochtemperatur oder automotive Mixed-Signal CMOS. Die gesamte Infrastruktur ist für die hohen Anforderungen der Automobilindustrie ausgelegt und verfügt über einen entsprechenden Automobil-Industrie-Standard. Auch Realisierungen von Sonderschritten wie z.B. Oberflächenplanarisierung sind im CMOS-Reinraum möglich.

Kenndaten der CMOS-Fab

  • Fokus: Kundenspezifische CMOS-Prozesse
  • Fläche: 1.300 m2
  • Minimale Strukturgröße: 0,35 µm
  • Personal: 4 Schichten / 7 Tage die Woche
  • Kapazität: >50000 Wafer pro Jahr
  • Kernkompetenzen: hochqualifizierte CMOS-Technologien
    • Mixed-Signal ASICs
    • Hochtemperatur SOI-CMOS
    • Imagers

Infrastruktur Mikrosystemtechnik Lab & Fab

Zur weiteren Bearbeitung von 200 mm CMOS-oder Kunden-Wafer wurde am Fraunhofer IMS mit Unterstützung des Landes NRW, des BMBF und der EU ein Mikrosystemtechnologie-Reinraum aufgebaut. Als kompetenter Partner bieten wir die Entwicklung einzelner Prozessschritte über Prozessmodule bis hin zu vollständigen MEMS-Technologien an. Im Fokus stehen vor allem Post-CMOS-Prozesses zur Funktionalitätserweiterung von CMOS-Wafern. Auf diesen »intelligenten« Substraten, versehen mit analogen und digitalen Ansteuer-, Auslese- oder Schnittstellenschaltungen werden in der Mikrosystemtechnik Lab&Fab  funktionale Strukturen aufgebracht. Mit dieser Kombination aus CMOS und MEMS können innovative und kompakte Mikrosysteme für den Einsatz in Medizin, Industrie, Automobil, Luft- und Raumfahrt bis hin zu Consumer-Anwendungen entstehen.

Kenndaten der Mikrosystemtechnik Lab & Fab 

  • Fokus: Integrierte Sensor Systeme auf »intelligenten« Substraten
  • Fläche: 600 m2
  • Minimale Strukturgröße: 0,35 µm
  • Kapazität: 5000 Wafer pro Jahr
  • Kernkompetenzen: Mikrosystemtechnologie auf CMOS
    • Drucksensoren
    • Bio-Sensoren
    • Mikrobolometer
    • Backside Illuminated Sensoren

Infrastruktur Aufbau- und Verbindungstechnik

Neben dem CMOS- und MST-Reinraum bietet das Fraunhofer IMS ein breites Spektrum an Prozessschritten im Bereich der Back-end Bearbeitung von mikroelektronischen Komponenten und Systemen an.

Wafer aus der Front-end Fertigung können hier getestet, gedünnt, vereinzelt und aufgebaut werden. Für besondere Test- und Montageanforderungen im Bereich der Druck- und Bildsensorik stehen eigene Reinräume und Anlagen zur Verfügung.

Das könnte Sie auch interessieren

Services & Know-How

Hier finden Sie einen Überblick über unsere Angebote für kundenspezifische Lösungen im Bereich der Mikroelektronik.

Kooperationsmodelle

Das Fraunhofer IMS bietet Kooperationsmodelle im Bereich mikroelektronischer und mikromechanischer Komponenten an von der Konzeptionierungsphase bis zur Pilotserienfertigung. 

Übersichtsseiten

Devices and Technologies (Home)

Das Fraunhofer IMS bietet optimale Voraussetzung zur Entwicklung von innovativen mikroelektronischen und mikromechanischen Komponenten und Systemen.

Anwendungen

Übersicht über typische Entwicklungsprojekte im Bereich Devices and Technologies

Technologien

Kundenspezifische CMOS-Prozesse, Hochtemperatur-ICs, MEMS and Post-CMOS processing, Atomic Layer Deposition (ALD), 3D-Integration

Leistungen

Unsere Angebote für kundenorientierte Lösungen - von der Beratung über die Prozessentwicklung bis hin zur Serienproduktion

Download