In den letzten Jahrzehnten führten Forschungs- und Entwicklungsaktivitäten in der Mikro- und Nano-Elektronik zu einer fortlaufenden Verkleinerung von Strukturen und damit zu einer kontinuierlich wachsenden Integrationsdichte, mit dem Ziel die Funktionalität auf einem Chip oder Mikrosystem weiter zu erhöhen.
Das Fraunhofer IMS setzt diesen Trend fort und entwickelt in verschiedensten Anwendungsgebieten kompakte und leistungsfähige Mikro- und Nanosysteme: