Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS
Induktive Sensoren werden häufig in industriellen und automobilen Anwendungen eingesetzt, da sie, im Vergleich zu optischen Sensoren, auch sehr gut in rauen Umgebungen eingesetzt werden können. Insbesondere die hohe Unempfindlichkeit gegenüber Schmutz macht induktive Sensoren dabei in vielen Einsatzszenarien attraktiv. Das berührungslose und verschleißfreie Messverfahren von induktiven Sensoren basiert auf folgendem Arbeitsprinzip: eine Sensorspule erzeugt ein magnetisches Wechselfeld, welches Wirbelströme in einem metallischen Gegenstand (Target) induziert, sobald sich dieser dem Sensor nähert. Der Energieverlust des magnetischen Feldes, der durch die Wirbelströme verursacht wird, kann auf Sensorseite als Güteänderung der Spule detektiert werden. Je näher das Target der Sensorspule kommt, desto stärker sind das Magnetfeld und damit auch die Änderungen des Magnetfeldes. Das führt dazu, dass die Wirbelstromverluste zunehmen. Auf diese Art und Weise kann z. B. die Entfernung des Targets vom Sensor bei induktiven Näherungssensoren festgestellt werden. Weiterhin kann durch eine entsprechende geometrische Formung des Targets auch die Position der Spulen zum Target mit diesem Prinzip festgestellt werden (Induktive Positionssensoren)