Mikrosystemtechnik Lab&Fab

Presseinformation / 5.5.2013

Die Mikrosystemtechnik und die Mikroelektronik gehen eine enge Verbindung ein, wenn es darum geht, kompakte „intelligente“ Sensoren und Aktoren zu schaffen. Die Mikrosystemtechnik (MST, oder MOEMS micro opto electromechanical systems) erweitert die CMOS-Technologie. MST liefert Sensor- oder Aktorfunktionen, CMOS stellt die Elektronik bereit. MST-Prozesse nutzen Halbleiterfertigungsequipment und profitieren von der vielfältigen Erfahrung, die die Silizium-Halbleitertechnologie aufgebaut hat.