Pressure Sensor Systems

Kunden brauchen genaue Druckmessungen

Der Trend in der Mikroelektronik geht zu immer kleineren Sensoren, dies gilt auch für die Drucksensorik. Unsere kundenspezifischen Entwicklungen sind nicht nur besonders leistungsfähig und niedrig im Energieverbrauch sondern aufgrund ihrer minimalen Größe bei Bedarf auch in den menschlichen Körper implantierbar. Damit eröffnen sich über bisherige klassische Anwendungen der Drucksensorik hinaus neue Gebiete, vor allem in der Medizintechnik.

Durch die Herstellung dieser Sensoren als integrierte kapazitive Drucksensoren in Oberflächenmikro­mechanik ist eine Verbindung mit jeder Art der Signalverarbeitung möglich. Ein Beispiel dafür ist die Auslese unserer Druck- und Temperatur-Transponder direkt on-chip durch einen speziellen A/D-Wandler, der in den Chip integriert ist und bei der Auswertung der Daten zwischen Druck- und Temperatursensor hin und her wechselt. Die Erfassung der Daten erfolgt extern über ein Zusatzgerät das entweder drahtlos oder leitungsgebunden mit dem Chip kommuniziert. Viele unserer Sensoren eignen sich besonders für den Einsatz im medizinischen Bereich zur Langzeitbeobachtung von physiologisch wichtigen Parametern der Gesundheitsvorsorge wie z. B. Blutdruck, Augeninnendruck oder Blasendruck. Somit gewinnt die Medizintechnik eine große Bedeutung für die künftige Nutzung von Drucksensoren.

Miniaturisierte Drucktransponder sind natürlich auch für hydraulische Anwendungen in der Industrietechnik oder bei der Messung von Reifendruck im Automotive-Bereich einsetzbar. Durch die Integration der Sensorik und Signalverarbeitung in einen ASIC ist das Fraunhofer IMS in der Lage, auf alle realisierbaren Wünsche und Applikationen einzugehen und maßgeschneiderte Entwicklungen für die Zukunft anzubieten.

Angebot und Leistungen

Miniaturisierte Drucksensoren mit allen Möglichkeiten

Als kompetenter Partner mit langjähriger Erfahrung im Bereich Drucksensorik bietet das Fraunhofer IMS folgende Leistungen an:

  •     Entwicklung von integrierten Miniatur-Drucksensoren.
  •     Entwicklung von implantierbaren Drucksensorsystemen.
  •     On-chip Integration jeder gewünschten Signalverarbeitung auf dem Drucksensor.
  •     Telemetrische Energieversorgung und Kommunikation mit dem Transponder.
  •     Integrierter Sensor zur Temperaturkompensation.
  •     Komplette Systemlösungen.
  •     Pilotfertigung der Sensoren und ASICs in der eigenen CMOS-Linie.
  •     Technische Sensoranalysen.
  •     Konzept- und Machbarkeitsstudien.
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