Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS
Das Fraunhofer IMS ist durch seine Technologien, seine Infrastruktur und seine Kooperationsmodelle ein idealer Partner für die Entwicklung Ihrer kundenspezifischen Drucksensorsysteme.
Unsere Leistungen umfassen von der Konzeptentwicklung bis hin zu Design und Fertigung die komplette Front-End-Fertigung Ihrer individuellen Drucksensorsysteme in unseren hausinternen Reinräumen. Durch die Kombination unserer CMOS und post-CMOS Technologien ist die Integration von Sensorchip und Ausleseschaltung auf 1-Chip- oder 2-Chip-Systemen möglich.
Darüber hinaus bietet das Fraunhofer IMS auch ein breites Spektrum an Leistungen für die Back-End-Bearbeitung Ihrer Drucksensorsysteme. Unser Know-How umfasst das Sägen, Dünnen und Testen von Wafern, sowie diverse Aufbau- und Verbindungstechniken zur Integration der vereinzelten Chips auf Platinen (PCBs). Zudem bieten wir die Validierung Ihres Systems anhand passender Test- und Messplätze. Diese entwickeln wir nach Ihren kundenspezifischen Anforderungen und transferieren sie bei Bedarf in Ihre Räumlichkeiten.
Abschließend beinhalten unsere Leistungen die Kalibrierung der entwickelten Drucksensoren, sowie die Durchführung und Auswertung von Langzeitmessungen und Vergleichsmessungen der von Ihnen eingesetzten Drucksysteme an.